二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293643024 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730
ID: 293643024
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
CVD System, 8" 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一款设计用于半导体和其他精密微电子市场的高性能蚀刻器/asher。该机由世界领先的先进半导体制造和工艺控制技术供应商之一TEL制造。TEL MB2-730利用了最先进的蚀刻和asher技术,该技术以使用高反应性化合物和基于等离子体的蚀刻技术为基础。这使得能够制作精确、微调的蚀刻图桉,用于各种应用。该机采用直观、用户友好的数字控制设备,能够精确控制蚀刻和灰度输出。TOKYO ELECTRON MB2-730还具有快速、安全的无维护操作功能,不会产生有毒气体或微粒排放。MB2-730上的蚀刻和灰化过程由激光、电子束和电感耦合等离子体(ICP)组合完成,从而可以精确控制蚀刻过程。蚀刻室周围的热毯可确保整个蚀刻过程的温度均匀,而激光驱动的快门也可确保系统的安全高效运行。TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730的ICP源和射频发生器配备了高科技温度控制仪,可实现最高300 °C的精确温度读数。这样可以确保整个过程的温度一致性,并可以精确控制蚀刻速率。外部气体控制装置便于调整蚀刻气体的浓度和速率。TEL MB2-730还具有先进的损伤保护和工艺可追踪性,进一步提高了其可靠性和精确度。它有一个可选的HEPA洁净室过滤器,用于出色的净化和保护蚀刻室和工艺环境。高级追踪能力机器允许用户在完成每个蚀刻过程后查看和检查其状态。此外,TOKYO ELECTRON MB2-730还配备了高分辨率监控器和高级控制接口,可以对蚀刻过程进行精确监控。显示器还提供了易于访问的计算机操作信息,可用于快速识别和解决过程中可能发生的错误。综上所述,MB2-730是设计用于半导体和微电子工业的多功能蚀刻器/asher。它利用先进的蚀刻技术、精确的温度控制、用户友好的数字控制工具以及先进的损伤保护和工艺可追踪性,成为微电子元件精密蚀刻和灰化的理想解决方桉。
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