二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293643026 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一个基于TEL最新光学扫描技术的先进蚀刻器/asher系统。它是专门为大体积基材制备和加工应用而设计的。TEL MB2-730能够同时执行ashing/蚀刻操作。它配备了一个高分辨率的光学系统，通过使用传感器对目标基板区域进行精确的监控和测量来优化生产过程。这使得TOKYO ELECTRON MB2-730能够提供卓越的吞吐能力和卓越的工艺重复性。MB2-730使用超高感应耦合等离子体（UHICP）技术提供优异的蚀刻/灰分性能。凭借其高选择性，可以提供非常精细的蚀刻效果，使其成为超大规模集成（ULSI）半导体加工等高端应用的理想选择。TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730具有用户友好的界面，允许用户以最小的努力进行精密的灰化和蚀刻操作。它还与TOKYO ELECTRON Advanced Process Control Platform（PCP）软件兼容，允许用户从远程位置精确监控和调整流程。TEL的先进设计和特点MB2-730使其成为任何大容量基板制备和加工应用的理想选择。其紧凑的设计，加上高吞吐量的能力，使其成为多种类型基板的高效、经济高效的解决方桉。其先进的控制软件确保操作员能够以最小的用户工作量进行精密的蚀刻和灰化操作，使其成为高级半导体应用的理想选择。