二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293825814 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一种先进的蚀刻工具，设计用于制造高密度多氯联苯和其他微电子器件。TEL MB2-730是一种高度可靠的多束单面等离子体蚀刻器，设计用于深层蚀刻加工。它具有先进的光学设计和13英寸的腔室，使其能够处理高通量和精确蚀刻的大型基板。TOKYO ELECTRON MB2-730具有双级等离子体技术,可提高蚀刻速率和出色的轮廓控制.这样可以在大面积上实现高调精度,使其能够制造功能小至0.3 um的PCB,蚀刻精度降至0.3 nm。该系统有5个室，主蚀刻室、预清洁室、后清洁室、前蚀刻室和后蚀刻室。这为蚀刻和精密过程控制提供了高精度。该系统还具有自动晶片索引和对齐功能，允许在蚀刻机中一致放置晶片。MB2-730利用多步骤过程来确保最高质量的蚀刻。首先，将基板暴露在预先清洁的过程中，以去除任何颗粒或表面污染。接着是低温高压预蚀刻步骤，软化表面并准备蚀刻过程。接着，在特殊气体喷射器的辅助下，将高反应性的工艺气体引入蚀刻室。在室内形成的等离子体然后将基板蚀刻到所需的规格。最后，根据所使用的蚀刻工艺，可以使用蚀刻后的清洁和降解工艺去除任何残留物，使基材具有干净和均匀的表面光洁度。TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一种高度可靠和用户友好的蚀刻工具，旨在满足多氯联苯的制造需求。它提供精确的蚀刻,具有出色的重复性和高吞吐量。此外，其用户友好的机器人系统使得它容易纳入任何制造生产线。TEL MB2-730具有先进的特点，是高密度电路板和组件制造的理想选择。