二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9167961 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 Etcher/Asher是一种多室、单晶圆干蚀刻系统，为各种先进材料提供超高蚀刻精度。它的两个工艺室设有一个大的工艺窗口，允许最大的多功能性。通过中功率和高功率电感耦合等离子体源的结合，进一步提高了蚀刻步骤的利用率。蚀刻器/asher还具有原位清洁功能以及前沿、跟踪控制的样品阶段。这样可以提高单个和多层蚀刻过程的均匀性和重复性。该系统配备了多种安全仪器，使其符合人体工程学，操作方便。例如,操作员可以使用直观的GUI通过触摸面板显示设置参数值,并且自动联锁系统可以保护系统免受火灾和危险情况的影响。拥有2350 x 2390mm占地面积的TEL MB2-730可容纳各种晶圆尺寸。它可以与晶片持有者一起使用，具有相当大的晶片加载灵活性以及精确和可重复性。该室的先进技术在同时蚀刻不同材料时具有很高的选择性。它可以在运行蚀刻过程时达到40 nm的精度,在运行蚀刻和灰化过程时达到80 nm的精度。它还为在Si上制造的半导体器件、3D/2.5D集成系统和大型集成电路的蚀刻提供了理想的条件。TOKYO ELECTRON MB2-730旨在支持复合蚀刻、用于超低k介电蚀刻的RIE间隙填充以及包括金属和介电层在内的大量沉积等工艺。多功能性、精确的过程、强大的源利用率和安全性只是这种可靠的蚀刻器/asher的几个优点。因此,MB2-730 Etcher/Asher是所有先进材料蚀刻需求的理想选择。