二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9395107 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9395107
优质的: 2001
Metal CVD system, 8"
(3) Chambers
Control cabinet
No SMIF
Monitor
Monitor rack
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一种高精度的工业蚀刻器/asher，设计用于在一系列材料上产生高精度的蚀刻或灰化表面。蚀刻器/灰化器的最大吞吐量为每小时730个晶圆,每个晶圆接受均匀的蚀刻或灰分操作。该机配备精密等离子体源，能够提供低至0.6µm或更低的蚀刻深度。该设备利用先进的压力控制器对蚀刻过程进行精确控制，从而使蚀刻结果具有很高的精度。该系统采用高对比度蚀刻工艺，使蚀刻或灰化的表面高度可见，易于辨认。蚀刻器/asher还具有复杂的脉冲调制振荡器单元，允许脉冲等离子体模式用于控制蚀刻过程。TEL MB2-730还配备了高级闭环控制机器,确保蚀刻或灰烬满足特定应用程序的严格要求。这些系统支持各种基板，包括硅、石英、玻璃和金属。该工具还支持聚合物、磁道和金属化的沉积。该资产与一系列工具和材料设计高度兼容,有助于提高生产效率和降低工艺成本。此外,集成的清洁过程允许在蚀刻和灰化操作之间进行高效清洁,从而获得一致的批处理结果。该蚀刻器/asher设计为最大的安全性和易于处理。它具有许多保护人员和材料的安全功能。该型号配备了热敏传感器、超声波传感器和光学传感器，以监测过程并确保安全运行。该机还设计用于自动远程操作，便于机器的设置和操作。TOKYO ELECTRON MB2-730是各种蚀刻和灰化操作的理想选择，提供精确蚀刻和灰化到0.6微米。该机配备了精选的高精度控制特性，以及统一的清洗工艺，以达到一致的效果。它的安全特性提供了多种级别的保护,以防止可能发生的事故。最后，它的远程操作和自动化设置使得它成为一个简单的选项，任何蚀刻和灰化的需要。
还没有评论