二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9396124 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一种用于光刻工艺的蚀刻器/共振器。它被用于生产用于制造先进半导体的光掩模。这种精确的蚀刻器通过在高度可控的环境中利用大量的化学物质来运作。TEL MB2-730专为半导体晶片和基板上的蚀刻图桉等工业应用而设计。TOKYO ELECTRON MB2-730能够执行各种任务,包括干式和湿式蚀刻,以及聚酰亚胺图案和烧蚀。这台机器能够产生高质量的结果,由于可调参数的用户可以编程到设备。它还具有两阶段蚀刻工艺,其中第二阶段蚀刻化学显着提高了蚀刻精度。此功能还使用户能够同时执行多个蚀刻过程。MB2-730的开放式体系结构具有不同的自动化级别。这使用户能够自定义设备并充分利用设备的功能。TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730被设计为坚持可重复、终极的INTEK过程控制,用户可以为特定蚀刻过程的广泛化学组合创建程序。此外,TEL MB2-730包括一个双腔室,使机器能够同时执行多个进程。这包括正面全息图,直接书写,和接触或非接触式光刻。它还配备了多维基板支架,确保用户能够始终如一地达到高质量的效果。TOKYO ELECTRON MB2-730的高性能系统适应于包括石英、氧化铝、蓝宝石、多晶硅、砷化的多种底物。该单元旨在为用户提供在最具挑战性的基板上蚀刻干净图桉的能力。总体而言,MB2-730是一种精确、高性能的蚀刻器/asonator,设计用于产生高质量的蚀刻结果,而不考虑基材。它利用可调参数为用户提供与双腔室功能同时执行多个蚀刻过程的能力,并得到INTEK过程控制的支持。这台高度可定制的机器可适应一系列基材,为用户提供了始终如一的高质量成果的能力。
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