二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9398831 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一种高级蚀刻器，专门为等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）应用而设计。该蚀刻器非常适合需要精确控制蚀刻过程中使用的氟和硫前体的操作。设备包括一个气箱、两个相互连接的石英室和一个负载锁室。它还包括带有晶圆转移的负载锁和高真空泵送封装，使其达到低于6 mTorr的底压。TEL MB2-730配备了TEL专有的Advanced Plasma Source （APS），具有高效、低噪声的等离子体多通道配置。该系统可以精确控制精确的沉积参数，产生质量最高的产品。它还设计用于可重现和均匀的蚀刻工艺。它能够蚀刻各种基材，如硅片、薄膜和无定形玻璃。TOKYO ELECTRON MB2-730采用溷合气体控制单元，其中包括气体溷合箱、溷合室和高流量涡轮泵包。这种配置使用户可以灵活地定义蚀刻气体的精确组成，使他们能够精确地定制蚀刻过程。该机还包括一个石英晶体监视器（QCM），允许准确控制沉积过程。MB2-730是为可靠的长期性能而设计的。该工具具有自我诊断功能,允许用户预测任何潜在的维护需求,以及自动清洁周期,以减少维护时间和工作量。此外，资产还包括过压警报和温度限制等安全功能，以确保操作员的安全。总之，TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一种先进的蚀刻器，非常适合需要精确控制PECVD工艺中使用的氟和硫前体的操作。它配备了TOKYO ELECTRON专有的Advanced Plasma Source（Advanced Plasma Source，APS）和溷合气体控制模型，为用户提供了根据需要精确定制蚀刻工艺的灵活性。TEL MB2-730还包括过压报警器和温度限制等安全功能,以及自我诊断设备,使其成为蚀刻应用的可靠安全选项。