二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730HT #9145481 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730HT
ID: 9145481
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CVD System, 8" (3) Chambers WSi Process 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730HT是一种高效可靠的蚀刻器/asher。它是一个CMOS/BiCMOS蚀刻器,Asher和应力缓解系统,能够在先进材料的恶劣条件下进行高质量的加工。该系统设计用于先进的半导体制造,利用基于等离子体的蚀刻和沉积技术生产优质的零部件。该系统将高速性能与精确度和灵活性相结合,从而实现了复杂产品的高产率。此蚀刻器/asher具有先进的等离子体产生的电源,该电源由激光监控以进行过程控制,为蚀刻和灰化提供了统一的环境。此单元具有易于使用的触摸屏界面,可进行直观操作。该装置也适用于批量加工,利用钨隔热室技术进行精确的温度控制,以确保成功的蚀刻/灰分处理。TEL MB2-730HT还具有三重气源,允许过程变化,如深层反应性蚀刻、毯层沉积和通罩去除。其先进的华夫饼板设计减少了加工过程中的蚀刻时间和基板损伤。它还配备了板载薄膜厚度监测器和探测器,允许以最小的用户干预来进行精确的过程控制。TOKYO ELECTRON MB2-730HT是一种可靠、多用途、高效的蚀刻器/asher,能够生产优质零件,同时保持较低的操作成本和最小的底物损坏。它旨在与多种工艺化学和底物兼容,从而在制造各种复杂产品时具有最大的工艺灵活性。这个单元被评定为半自动操作,允许重复生产,很少有用户干预。MB2-730HT可用于各种半导体制造应用,从高性能逻辑和内存模块到光学元件和高级封装。
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