二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594208 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是一种高度先进、最先进的蚀刻器/asher。它由TEL开发制造，在工业上有广泛的应用和用途。TEL ME-450II是一种直接的等离子体蚀刻设备，具有多腔室设计，为用户提供了一个稳定一致的图样和蚀刻环境。该系统的腔室针对硅的蚀刻进行了优化，硅是电子工业中最常用的基板。也适用于其他材料，如玻璃和石英。TOKYO ELECTRON ME-450II利用优化的多波长等离子体源提供高蚀刻速率、大的工艺窗口和卓越的选择性。该装置的高等离子体密度、低底物充电、优越的滞后控制，使得在广泛的底物和薄膜上具有优越的蚀刻性能。该机的腔室设计利用多种来源和蚀刻气体，以最大程度地提高加工灵活性。ME-450II标配固定阴极、圆柱形阴极和平面电极,用于各种工艺流程,包括反应性离子蚀刻（RIE）。平面电极可用于将交流或脉冲直流功率划入基板，以获得更好的模式保真度。此外，该工具的自动气体输送和控制允许统一的气体使用和整个过程控制。TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II还包括各种杂项工具和功能,以确保良好的工艺性能和产量。这种特性的例子是自动基板定位器和低反射基板支架。TEL ME-450II还利用耐用的陶瓷工程材料来最大限度地减少停机时间和优化维护。TOKYO ELECTRON ME-450II配备了多种警报器和安全功能，确保人员安全和工艺稳定性。提供实时诊断,使用户能够在不停止资产的情况下快速监视和修改流程。ME-450II的设计易于融入现有的生产环境,并且与各种基材和薄膜兼容,使得生产模式的设置相对较快且易于使用。综上所述，工程和软件的进步以及独特的蚀刻源和气流控制的结合，使得TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II一个理想的图样和蚀刻工具。其先进的特点，加上其多腔室设计和相关的工艺工具，确保了可重复、可靠和高质量的结果。