二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594209 待售
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ID: 293594209
Dry etcher
Gas box
Glass size: 370 x 470 mm
(2) Chambers
Monitor rack
Loadlock
Indexer
P/C-R Backside block
P/C-L Backside block
P/C-C Backside block
P/C-R
P/C-L
P/C-C
(2) Regulator boxes
Main rack
Loadlock pump rack
Loadlock pump
P/C-R Pump
P/C-L Pump
P/C C Pump
Turbo controller rack
(2) Chillers
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是寻求可靠高效生产的工业和高端市场的精密蚀刻器/asher。TEL ME-450II具有先进的控制设备,使其成为先进半导体器件和3D集成电路等产品的精确、高精度蚀刻的领先者。它还具有极好的可重复性,允许一致的生产,对原始产品设计进行最小的更改。TOKYO ELECTRON ME-450II提供直观、基于菜单的GUI,可完全控制蚀刻参数,如电流、电压和温度。因此,操作员可以快速轻松地调整设置,以适应不同的材料和尺寸,从而确保最佳蚀刻效果。ME-450II还具有一个六轴工件表,可在任何方向上实现最大+-20mm的工艺控制。这种先进的控制系统确保了精确和一致的蚀刻过程。TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II的设计旨在确保卓越的产品公差和工艺稳定性,其工作区域可覆盖1350mm (x)、1020mm (y)和450mm (z),非常适合大规模生产高精度紧密堆积结构。该单元的分离功能可以配置为能够独立抑制电子束(EB)和化学蚀刻(CE)过程。这使TEL ME-450II能够轻松处理复杂的零件和材料,例如铜和铝PCB或蚀刻元件。这款多功能蚀刻器/asher还配备了用于检测缺陷和生产故障的高级机器视觉监控(MVM)机器,以及用于蚀刻过程中零件稳定性的可靠固定(HIP)工具。这些功能使操作员能够快速准确地检查生产零件,从而确保产品的一致性和高精度。TOKYO ELECTRON ME-450II是任何需要可靠和精确的精密蚀刻器/asher的工业或高端市场的理想选择。它提供可靠的控制资产和直观的GUI,使生产更轻松、更高效。其高精度的蚀刻精度和可重复性,以及易于使用的Machine Vision Monitoring模型和Hold-in-place Equipment,使其成为任何质量驱动市场的必备产品。
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