二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9083622 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是一款功能齐全的蚀刻器/asher，专为半导体行业的大批量管线加工而设计。该设备可实现快速蚀刻和灰化过程,而无需移动晶片。它采用先进的多维评估系统构建,可以精确调整多个工艺参数,从而实现高吞吐量生产。该单元配备了大容量的晶片装载机和卸载机，能够处理直径达200毫米的晶片。它还能够在整个表面积上扫描200毫米晶片,分辨率为5nm。这种扫描机允许高精度的过程控制，允许精确调整蚀刻/灰化过程。TEL ME-450II能够进行双面蚀刻/灰化,确保晶圆两侧的表面光洁度均匀。它还包含了一些旨在最大限度地减少缺陷的功能,包括内置的自动调平工具、架子式腔室和自动、精确对准资产。在工艺参数方面，TOKYO ELECTRON ME-450II能够以可重复精度处理简单复杂的蚀刻/灰化配方。根据配置的不同,它可以管理低至5nm/min、高至400nm/min的蚀刻速率。该模型还具有控制多个气体进料通道的能力,最高温度范围可达1400 °C,使用户可以完全控制蚀刻或灰化温度。ME-450II还配备了强大的真空泵送设备，泵送超时时间低至10秒。它还具有先进的监测功能，以提醒用户注意程序不规范之处。此功能允许快速识别任何违规行为,允许用户及时采取纠正措施以确保连续、高质量的生产。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II还拥有一个全面的软件包，旨在最大限度地为用户提供便利。此软件包包括用于存储配方信息的数据库、用于优化配方的工具以及集成的流程控制功能。该软件包还具有用户友好的GUI,可以快速操作配方和快速分析串行数据。总体而言,TEL ME-450II是一款功能齐全的蚀刻器/asher,可提供卓越的吞吐量和过程控制。它是一种可靠、通用的工具，非常适合半导体工业中大量生产晶圆。