二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9192884 待售
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ID: 9192884
优质的: 1999
Dry etcher
Gas box
Glass size: 370 x 470 mm
(2) Chambers
Indexer
Monitor rack
Main rack
Chamber pump
Loadlock
Rear block
P/C-R
P/C-L
(2) Regulator boxes
Loadlock pump
P/C-R Pump
P/C-L Pump
Turbo controller rack
P/C-R Chiller
P/C-L Chiller
(2) UPS
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是一种高端精密蚀刻工具,专为生产定制、错综复杂的表面而设计。这台机器非常适合制造微电子器件，在那里需要精确的细节水平。它采用两步蚀刻的方法--首先将化学气相沉积（CVD）层应用于目标材料。然后使用激光束将所需的图样跟踪到CVD层，在基板上创建永久蚀刻图样。TEL ME-450II具有很高的精度,即使对于复杂的模式也是可以实现的。其三维范围可达0.3mm,最小线宽为0.8microns。通过使用专有的CVD工艺,可以实现对极均匀表面的蚀刻。该系统还具有非凡的位置精度-在X、Y和Z轴上可达± 0.02mm,以确保完美的可重复性和最佳的结果。此外,TOKYO ELECTRON ME-450II比传统蚀刻技术节省了大量时间。其自行头有助于加快蚀刻过程，而专用控制器让用户可以方便地为不同的蚀刻作业设置参数。此外，它还具有先进的标准化功能，为预置蚀刻工艺提供了一种快速简便的方法。此工具还具有高级安全功能。它有一个包括激光安全快门的紧凑设计，在门打开时阻挡光束。它还有一个紧急停止按钮，在发生意外时迅速切断激光电源。此外，它的指示灯在激光活动时点亮，确保安全运作，并有助于防止任何问题或伤害。总体而言,ME-450II是一种功能强大且可靠的蚀刻工具。其先进的精确度和特点的组合，使得复杂的图样的容易和高效的蚀刻，理想的微电子生产。它的安全特性提供了安心，节省时间的优势使得它成为一个经济实惠的选择。这种蚀刻工具是任何一家寻求极精确蚀刻工具的公司的绝佳选择。
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