二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-600P2 / ME-600IR #9382344 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IR是一种蚀刻器/asher，设计用于对多种材料进行精密蚀刻和灰化，包括硅、石英、砷化氙、氮化氙、铜、铝、钛、钨和钢。TEL ME-600P2/ ME-600IR具有先进的粗细处理模块,能够同时处理多达12个晶片,总处理面积可达1,310平方厘米。它还配备了一个独立可控的石英炉，允许温度高达1,350 °C，并提供高水平的工艺稳定性。独特的Auto Slope Technology允许不断更新蚀刻轮廓,以实现均匀的蚀刻/灰分深度,同时改进的监视器晶片加载和卸载系统可确保操作方便。该ME-600P2采用了13种不同的等离子体气源（氦气、氙气、六氟化硫、四氟化碳、氟化氢、氧气、氮气、氨、硅、硅氧烷氢气、硼烷氢气、氯气和三氟化硼），从而实现了广泛的蚀刻和灰化过程，而一个单一的底物底物可以进行柔性蚀刻/灰分转移。这种蚀刻器/asher也可以很容易地集成到自动化系统中，使其成为复杂、大批量生产的理想之选。此外，ME-600IR还增加了一系列红外灯，可用于灰化/干燥过程。TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IR是微电子和半导体制造等精密行业广泛蚀刻和灰化应用的绝佳解决方桉。凭借其先进的特点和出色的工艺稳定性，它是在处理时间最短的情况下实现高质量成果的理想选择。