二手 TEL / TOKYO ELECTRON Metal CVD Chamber for Triase+ Ti/TiN #9294228 待售

TEL Metal CVD Chamber for Triase+Ti/TiN是一种精密的蚀刻/灰化器，旨在将Ti/TiN沉积在具有高重复性的大面积上。这件设备由不锈钢制成，使其能够承受极端温度和压力水平。它还有一个闭环流动设备，保证了高纯度、均匀性和可重复性。该系统包括一个独特的气体中心机构，它提供复合气体流动在薄膜和气体喷出水平从蚀刻室下游。这确保了整个晶片表面的优质沉积。该室还配有一个改进的源单元，该单元包含最多五个气体通道，用于薄膜形成。此外，蚀刻室还包括一个温度控制器，用于在Ti/TiN沉积之前提高和稳定温度。为了有效地操作这台机器，操作员需要了解过程控制器的原理。此设备允许手动设置所有预处理,例如压力、温度和进气流量。它还使操作员能够动态调整工艺参数，以达到最佳性能。使用此工具时，操作员需要确保打开前盖和腔室侧盖，然后才能打开工艺控制器。然后要求整个腔室的温度均匀，通常是先引入工艺气体。必须对气体流量进行精确监测，以确保气体压力分布，防止超压。该资产还配备了一个加热石英窗口，可以由同一主电源从蚀刻室操作。确定石英窗的温度对于蚀刻参数以及防止污染是非常重要的。此外，操作员需要定期检查石英窗的位置，以防止任何可能的损坏，并确保模型的最高性能。简而言之，TOKYO ELECTRON Metal CVD Chamber for Triase+Ti/TiN是一种功能强大的蚀刻器/asher，可以帮助在大面积上输送高可重现的沉积物。它是一个复杂的设备，需要有关过程控制器、温度控制和石英窗定位的知识。为了获得最佳结果，必须对所有相关参数进行精确和定期的监测。