二手 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #293589548 待售

TEL/TOKYO ELECTRON RLSA是一种电脑化蚀刻器，通称为asher。设备的主要部件包括基板支架、控制器、反应室和工艺室，均由Windows 7 OS. TEL RLSA蚀刻器操作，具有同时蚀刻单面和双面基板的能力。它可以蚀刻金属，包括铝、铜和钨等，以及陶瓷和石英基板。它可以用来蚀刻痕迹、vias和垫等特征，以及高精度的孔、槽和腔。控制器由一个微处理器和可编程系统组成，允许对每个蚀刻过程进行精确设置。该工艺室是一个封闭的真空密闭区域，容纳反应室和底物支架。反应室由连接到真空室的反应管、气体分配单元和一组固定装置组成。真空室用于提供低压环境，气体分配机用于在蚀刻过程中使用的气体中添加。反应管用清洁溶液填充，基板支架牢固地固定工件。该控制器用于设置蚀刻工艺参数，如时间、气体流量、压力、温度和电压。控制器还与Windows 7 OS共享蚀刻数据，允许用户对蚀刻过程进行编程，并与TOKYO ELECTRON RLSA蚀刻器进行交互。此外，它还实现了喷嘴自动清洗和晶圆验证，使操作员能够轻松查看蚀刻过程结果。综上所述，RLSA是一种用途广泛的蚀刻器，能够精确地蚀刻金属、陶瓷和石英基板。它易于通过Windows 7操作系统进行编程和交互,包括喷嘴清洁和晶圆验证等功能,以提高精度。