二手 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #293598577 待售

TEL/TOKYO ELECTRON RLSA是一种同时使用反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术在材料表面上产生图样的蚀刻器/灰化器。这一工艺适用于生产许多不同的材料，从柔性聚合物到硬质结晶材料不等。它的工作原理是首先将蚀刻材料薄膜涂在所需的蚀刻区域。涂膜后产生蚀刻等离子体，将表面材料直接溶解在其下方，并将蚀刻材料转移到基板上。此外，PECVD工艺用各种前体对聚合物和其他材料进行化学蚀刻，从而在表面形成图桉。TEL RLSA是为材料的高精度蚀刻而设计的高度先进的蚀刻器/asher。它采用精细、高分辨率的线性扫描,允许用户选择理想的蚀刻速度和二维分辨率。此外，TOKYO ELECTRON RLSA还提供一系列功能，以提供材料的最佳蚀刻，包括计算机、视频显示器和手动手臂定位设备。RLSA利用内置射频发电机提供的软件控制射频电源,能够用一个可曝光的薄膜扫过整个区域。再者，由于多个程式可以储存在系统的记忆体上，使用者可以很容易地回忆和选择不同蚀刻用途的特定程式，使得TEL/TOKYO ELECTRON RLSA成为一种通用的蚀刻机。在安全方面，TEL RLSA纳入了几项措施，以保护用户免受蚀刻过程中使用的危险化学品和颗粒的侵害。例如,对自动间隙单元进行编程以保持蚀刻表面和刀尖之间的安全间隙,从而确保安全且无危险的工作环境。此外，TOKYO ELECTRON RLSA还配备了排气处理、化学分配系统和紧急关闭等所有必要的安全特性，以保证用户操作机器时的安全。总体而言,RLSA是一种用户友好且精确的蚀刻器/asher,用于在材料表面上创建各种形状和图桉。凭借其精确的扫描工具和丰富的安全功能，TEL/TOKYO ELECTRON RLSA是一款理想的机器，可以帮助用户以最高的精度达到自己想要的图桉和形状。