二手 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #9270938 待售

TEL/TOKYO ELECTRON RLSA，又称蚀刻器或灰化器，是一种高度先进的灰化设备，使用低温等离子体系统蚀刻电子显微镜的样品，如扫描隧道和场发射显微镜。该单元由TEL Technology Co., Ltd.开发,与其他类型的ashing系统相比具有许多明显的优势。TEL RLSA是一种高级干式蚀刻剂，使用两种等离子体进行蚀刻，分别是正离子束（PIB）和负离子束（NIB）。其PIB用于底物清洗，比传统的灰化方法能提供更精细的蚀刻；而其NIB用于材料的功能和结构变化，如沉积和外延。这使得TOKYO ELECTRON RLSA以更高的精确度实现精密蚀刻。RLSA使用特殊的基板，例如具有敏感石英窗口的流体兼容基板，在样品上蚀刻极小的特征。窗口灵敏度高，可以精确控制，让用户对蚀刻过程有更大的控制，达到更高精度的效果。此外，TEL/TOKYO ELECTRON RLSA还有一个先进的控制机器，使用户能够根据结果监测蚀刻进度和微调蚀刻条件。这种提高的准确性和控制使用户能够实现各种结构和模式而没有缺陷。TEL RLSA最大的优点之一是效率高，由于其低温等离子体工具和效率，能够比传统的灰化系统蚀刻更多种类的材料。这允许用户更精确地蚀刻金属、氧化物和平面基板。TOKYO ELECTRON RLSA也是高度安全可靠的，用于洁净室环境蚀刻细腻材料。此外，它还非常容易操作，控制资产中包含了人性化的组件，让用户即使没有技术专长也能轻松控制蚀刻条件。总体而言，RLSA是一个先进的蚀刻模型，由于其低温等离子体设备、高效的基板处理和高精度的控制系统，提供精确准确的结果。这使得该单元非常适合在现场发射和扫描隧道显微镜应用中蚀刻各种样品。