二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM JIN #9038421 待售

ID: 9038421
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Etcher, 12" 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM JIN是一种利用等离子体增强化学气相沉积技术的蚀刻器/灰化器,为定制蚀刻材料的形成提供了优异的效果。TEL SCCM JIN的高级控制器使用户能够调整蚀刻速率、温度和图案以产生所需的结果。它提供了通用、精确的蚀刻/散列功能,使用户能够在严格的公差范围内生成自定义蚀刻。TOKYO ELECTRON SCCM JIN利用一个可容纳高达300 cc蚀刻/散列材料的加工室,并使用蚀刻/散列气体,如CF4、O2、Ar或H2。腔室压力是可调的,允许用户自定义蚀刻/散列过程。腔室配有上下游波纹管,允许在蚀刻/散列过程中腔内压力增加。SCCM JIN利用基板加热器有效、准确地加热基板材料,而不会出现断裂或不均匀加热的风险。加工气体和数值控制发射器使用户能够调整蚀刻速率、温度和模式,以实现可定制的蚀刻/散列。TEL/TOKYO ELECTRON SCCM JIN使用顺序源驱动技术精确切入金属基材。它不能移植均匀的波形发生器,该发生器可精确控制蚀刻/散列过程。TEL SCCM JIN使用E-Beam Etcher,它允许用户使用激光和离子束方法放下比传统蚀刻/散列更小的特征尺寸。它提供了出色的模式可重复性和准确性,使用户能够为自定义应用程序生成复杂的蚀刻/散列模式。该系统使用远程监视器,一次最多可存储和跟踪30个实验的结果。此外,TOKYO ELECTRON SCCM JIN还提供可选的软件模块,可实时监控蚀刻速率、温度和蚀刻模式。综上所述,SCCM JIN是一款具有卓越蚀刻/散列解决方桉的蚀刻器/Asher,它提供多用途和精确的功能,具有出色的重复性和准确性。它利用多个工艺室、波纹管和发电机、电子束蚀刻器和远程监视器,使用户能够蚀刻/散列定制材料,并获得最佳效果。
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