二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #293705863 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一种半导体蚀刻器/asher设备，设计用于半导体蚀刻和灰化领域的先进应用。该系统由一个中央控制单元组成,控制所有组件。这些部件包括中央处理器单元（CPU）、示波器、真空室、Ashing室、晶圆映射机、加热气体工具和晶圆传输资产。此型号中的CPU单元负责控制设备中的所有其他组件。这意味着,负责接收、解释和执行用户通过计算机界面发送的命令。它还从确定蚀刻和灰化过程的传感器和参数中读取数据。这些参数是借助用户友好的图形菜单输入到软件中的。然后在软件中存储和处理所有必需的数据。示波器充当CPU和系统其他组件之间的接口。它负责显示单元中各种部件如真空室或加热气体机的参数和读数。TEL SCCM Shin的真空室充当容器，以容纳进行蚀刻/灰化过程的环境。根据所需工艺的类型，该腔室可配置为在其中产生不同级别的真空和/或大气。工具的Ashing Chamber负责去除半导体晶圆上不需要的层，由一个腔室和一个供气资产组成。该腔室包含一个用于将气体加热到所需温度的加热器。然后将气体注入腔室，并进行去除晶片上不需要的层的过程。TOKYO ELECTRON SCCM Shin的晶圆映射模型由光束映射设备和晶圆传输系统组成，使晶圆能够被精确地映射和精确地传输到真空室和/或灰烬室中。这对于确保蚀刻或灰化过程的准确性至关重要。机器的加热气体单元被设计为向腔室提供持续的供热和/或冷却气体，如氮气、氧气或氙气。这使工具能够更快、更精确地执行流程。最后，设计了SCCM Shin晶片传输资产，以精确、精确的方式将晶片送入和送出腔室。这个传输模型由一个线性电动机组成，用来控制晶圆的精确运动，并被安置在一个平行安装的导轨中。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一种高度先进的蚀刻和灰化设备，用于半导体晶片。它的各个组成部分分别处理系统中的特定任务,从而实现精确和精确的蚀刻和灰化结果。