二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235174 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一种蚀刻器/asher（又称等离子体蚀刻机），旨在为各种材料的微细製造提供高度精确且具成本效益的工艺。它能够处理广泛的材料，包括不锈钢、钨、钴、铝、石英和硅。该系统采用等离子体蚀刻技术，利用高能等离子体从晶圆表面剥离材料，采用集成铣削工艺，采用专门设计的机头来定义各种形状。TEL SCCM Shin有一个大板，可以容纳直径达200毫米、厚度达1.5毫米的晶圆。然后将盘子固定在一个较低的盘子上，然后加热。一个计算机化的系统允许对过程进行精确的控制。蚀刻过程启动，晶圆受到位于蚀刻室的电感产生的脉冲磁场。该场力与原料等离子体相互作用，在晶圆表面上形成聚焦蚀刻图样。蚀刻室配备了几个安全特性，包括内部真空、氮气和深层真空。当等离子体蚀刻过程进行时，用视觉和红外传感器监控晶片，以确保蚀刻过程均匀。蚀刻过程完成后,将执行特殊的铣削过程。铣削过程使用专门的铣削头执行,该铣削头高速旋转,沿着预定轮廓切割晶片。铣削过程用于在晶片中创建通道或其他特征。最后,该零件准备好进行检查和包装。检查过程通过专门的显微镜进行，能够识别最终产品中的裂纹、划痕和其他缺陷。如果检测到这些问题中的任何一个,则可以在运输前修复这些问题。然后可以将部件打包并发送到其最终目的地。总体而言，TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一种可靠且经济实惠的微细加工工艺系统。它旨在提供高度的精确度和精确度，同时仍然易于操作和维护。此外,它的内置安全功能确保在安全、受控的环境中进行该过程。