二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235178 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一款针对先进技术半导体制造工艺而设计的高性能蚀刻器/asher。它支持范围广泛的晶圆尺寸（从5英寸晶圆到150毫米不等），能够应付干式和湿式蚀刻工艺的要求，提供快速可靠的结果。该设备设计小巧,易于使用,具有彩色触摸屏显示屏。它具有模块化的体系结构,使系统适应和扩展以适应不断变化的客户需求变得简单。它配备了大阵列的加工室和内部气体管线，使其可以很容易地配置同时具有单步/多步蚀刻配方。TEL SCCM Shin另外配备了基于反应性离子蚀刻（RIE）原理的腔室清洗单元。这台机器使用由压缩气体组成的高度加速的等离子束，在不影响晶圆结构化表面的情况下，有效清除腔室内部的污染。该工具还具有多种选择，例如用于控制工艺温度的热电偶监测仪、用于检测微粒水平的CP-MS检测器和用于现场精确测量晶圆厚度的高灵敏度微米。此外，它还可以配置特殊的加热和冷却结构，以优化过程控制。TOKYO ELECTRON SCCM Shin能够在广泛的过程中提供高均匀性，包括基于HF的蚀刻、CMP、薄膜蚀刻和反应性离子蚀刻。它可靠高效，是制造先进技术半导体器件的理想选择。