二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9238870 待售

TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin
ID: 9238870
Dry etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是半导体和平板显示器制造企业使用的一种蚀刻器/asher。它是一款具有高生产率和卓越性能的设备,为用户提供独特的可用性。TEL SCCM Shin设有一个CCS(封闭式腔室系统)腔室,用于将过程中的有害物质与蚀刻器内部隔开。这样可以确保安全的工作环境,同时减少气味和产生颗粒。此外,其获得专利的双压板设计可实现最高的制造效率。TOKYO ELECTRON SCCM Shin配备了两个独立的压板系统,使其适合在大量晶圆上进行蚀刻操作。它可以在一次操作中同时处理多达九个晶片,提高工艺产量和吞吐量。该单元还通过提供可选的基板如硅片、后金属化基板和耐涂层基板,提供了多种工艺灵活性。再者,该机具有节能模式,使其在非活动期间和闲置时间可以降低功耗。SCCM Shin蚀刻器有一个晶圆运输工具,有两个独立的臂,一个用于进料,一个用于装载。这使基板的快速转换成为可能,并使单个工具可用于处理具有较短晶圆转换时间的生产和测试晶圆。该资产还配备了自动卡带更换器,一次最多存储16个晶圆,使操作员免于手动装卸操作。蚀刻器/asher也是用户友好的,它以最小的维护提供了简化的操作。其设计方便融入现有生产线,适用于远程运营和现场支持。此外,TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin符合SEMI标准,能够传输数据并与其他制造系统(如自动化平台服务器)共享数据。这使得监控生产统计数据变得简单,使用户能够提高整个生产过程的效率。综上所述,TEL SCCM Shin 蚀刻器/asher是一款在用户心目中设计的高性能车型。它提供了极好的工艺灵活性,允许用户快速更换基板并降低工艺产量和吞吐量。此外,其用户友好的设计使其易于集成到现有生产线中,并符合SEMI标准,从而实现了有效的数据共享和数据传输。总体而言,TOKYO ELECTRON SCCM Shin是提高半导体和平板显示器制造商生产率和确保安全性的完美工具。
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