二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9241291 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一款蚀刻器/asher，设计用于将光掩模批处理与等离子体蚀刻相结合，生产高质量、低成本的微电子器件。这项先进技术允许在单个机器中生产高度复杂的设备结构。结果是产量最佳，材料成本低，周期时间长。TEL SCCM Shin通过将晶片暴露于反应性离子蚀刻剂来运作，然后将其沉积在晶片上。这一过程是分批进行的，能够以高精度和可重复性控制复杂特征的蚀刻。此外,该机器还配备了一台板载计算机,可轻松调整诸如压力、功率和蚀刻体积等蚀刻参数,使操作员能够定制蚀刻过程以满足其特定需求。TOKYO ELECTRON SCCM Shin的精确度使其成为产生高解析度特徵的理想选择。蚀刻深度和宽度均可调节，范围为0.5-25。因此，它可以用来创建小至0.5微米的几何形状和通道。等离子体蚀刻过程的高精度和重复性确保了复杂的特征即使在不同的晶片批次下也能被精确地复制。SCCM Shin也可用作asher。这包括将晶片表面均匀地暴露于可用于氧化晶片表面以改善其电特性的受控剂量的氧中。此外，TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin的设计确保了最小的污染和交叉污染。这使得即使在超灵敏微电子应用中也能可靠的设备生产。TEL SCCM Shin是生产高品质微电子器件的经济高效的解决方桉。它具有易于使用的图形界面,用户友好,吞吐量高,并带有存储蚀刻参数的集成数据库。此外，它还支持多种基材材料，使其成为一种用途广泛且可靠的蚀刻器/灰化器。