二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9261824 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一种用于半导体和复合半导体制造工艺的蚀刻器/asher设备。它旨在精确控制薄金属层的沉积和蚀刻，是切割复杂形状和制造各种纳米结构的理想之选。这个蚀刻器/asher系统是一系列研究应用的理想选择，例如微电子和纳米电子、微流体、光伏、光电子学和生物学。TEL SCCM Shin是一个气体驱动的蚀刻器/asher单元，包括一个带多个气体入口的淋浴头和一个精确的控制机器。其主要部件为淋浴头、温控蚀刻室、进气管线和干气喷射工具。淋浴头由多个气体入口组成，可引入不同气体在不同温度下进行蚀刻或灰化，从而提供精确的温度控制。淋浴头被惰性大气室包围，以防止底物和气体之间发生反应。温控蚀刻室的设计提供了极好的均匀性和稳定性。它配备了允许引入各种气体的入口线，使蚀刻器/asher提供了广泛的蚀刻和Ashing效果。蚀刻器/粉碎器资产还具有干气模型（DGS）和喷射器设备（ES）。DGS设计用于快速将金属层沉积在基板上,同时具有石英和钨电极,可选择最多使用四个电极。ES用于蚀刻薄膜，允许精细目标蚀刻和离子束蚀刻。它配备了高频发电机、蚀刻枪和基板支架。TOKYO ELECTRON SCCM Shin 蚀刻器/asher系统能够以高精度和优异的均匀性蚀刻和沉积金属层。它也可用于对各种具有高精度蚀刻特征的基板进行图桉化。这个单元用途极为广泛，可用于各种应用，使其成为半导体和复合半导体制造应用研究人员的理想选择。