二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409053 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一种高级蚀刻器或asher，为实验室和研究机构提供精密的现场蚀刻和灰化能力。该设备旨在提供准确、可重现的蚀刻工艺，可用于半导体器件制造的各种应用。TEL SCCM Shin在精度和可靠性方面配备了广泛的功能。该系统有一个可控的加热平台，允许精确的基板温度和大气控制，以及容易进入装载基板。它还具有一个直观的用户界面,可实现快速参数设置和过程监控。先进的工艺控制单元（ACS）可实现精确的蚀刻工艺控制和参数设置,与湿法和干法蚀刻工艺兼容。此外,TOKYO ELECTRON SCCM Shin还配备了自动气流机,便于气体加载,消除压力和温度误差。该工具还配备了冷却装置，确保最佳冷却蚀刻室及其环境。气流和冷却系统都由独立的闭环控制器控制，提供精确的温度和压力控制。对于自动化,资产支持在最多三个单独的负载锁上的多个（最多十个）反应。该模型还提供了蚀刻速率的现场测量，利用激光干涉测量法测量每个样品三点的蚀刻深度。这为蚀刻过程控制提供了准确的实时反馈。此外，该设备还配备了一个原位残留物/重结晶探测器，可对蚀刻速率进行原位监测，并在蚀刻过程中检测任何残留物或重结晶。SCCM Shin是一种单室垂直蚀刻器/asher系统,专为工艺产量和可靠性而设计。它提供出色的过程控制、灵活性和自动化,使其成为蚀刻和灰化应用程序的绝佳选择。