二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409127 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一种蚀刻器和asher设备，用于许多行业和设施。该系统用于薄膜器件、薄膜层和其他晶圆相关材料的生产和蚀刻。其特点是精确度高、功耗低、废旧生产少。它非常适合用于半导体、微机械加工、光掩模和其他需要在高温下蚀刻或粉刷薄膜的薄膜沉积工艺。蚀刻/灰化过程始于将薄膜放置在TEL SCCM Shin蚀刻器/灰化器单元中。这台机器由一个反应堆室组成，该反应堆室配有气体入口、出口和内部气体装置，用于控制室内的气体和温度。薄膜然后在400至500摄氏度的温度下接触氧气、氮气和其他气体的溷合物。然后将能量提供给工具的反应室，同时使用X射线源选择性地蚀刻薄膜层。蚀刻和灰化工艺控制极为严密，底物损伤最小，薄膜变薄。薄膜层厚度可达15-20mm，但也可以用TOKYO ELECTRON SCCM Shin蚀刻更薄的层。此外，这项资产可以蚀刻多种拓扑，如均匀层蚀刻、阶梯层蚀刻或多层蚀刻。该型号有手动和自动两种晶圆支持。手动晶片支持允许用户在蚀刻设备中手动放置薄膜。另一方面，自动晶片支持允许控制计算机自动将薄膜送入蚀刻机中。此外，系统还配备了超温防护、超压防护、碳监测等多种安全功能。此外,该单元还具有各种操作功能,如自动配方模式、用户界面和流程日志。SCCM Shin Etcher/Asher以其高精度、低功耗、低浪费的生产，是薄膜精密蚀刻和灰化的完美机器。