二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9206140 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE是为半导体制造而设计的单晶片蚀刻器/asher设备。该系统为MEMS、多晶圆制造、MEMS/MMIC/复合半导体器件制造的高级蚀刻/灰化工艺提供了单一的来源。它具有优异的工艺控制和均匀的蚀刻效果以及均匀的介电保形涂层.该单元具有自动过程控制、原位闭环监控和模式发生器顺序控制等功能，可提高晶圆吞吐量。TEL SCCM TE具有优异的等离子体处理性能,包括ICP SiO₂蚀刻、HCl蚀刻、O₂/Ar反应物气体和化学机械晶片抛光（CMP）功能。该机精密且可重复，并配有高分辨率开关距离（HRSD）和平面化工具等用于规划和蚀刻控制、晶圆旋转资产、先进的前向和反向射频功率传递以及改进等离子体尖峰保护的实时储罐压力控制等先进工具。此外，该模型还包括一个喷雾加热装置和一个创新的自清洁设备，以帮助减少污染对地表地形的影响。TOKYO ELECTRON SCCM-TE配备了原位法拉第防护罩，使系统能够处理TEL自己的抗蚀剂载荷晶片系列，实现跨各种蚀刻/ashing步骤的多过程集成。该单元还提供各种可定制的加工参数，如蚀刻参数、对准精度、介电蚀刻回、基板图样和工艺配方，以实现高性能、高产量的生产。此外,SCCM-TE还提供高级自动化功能,如多配方管理、基于PC的仪表控制、晶圆跟踪、GDS/GDSII数据管理和质量控制监视器。该机专为全天候操作而设计，提供卓越的速度和可靠性。集成的自我诊断、远程连接和易于维护的功能使该工具成为流程密集型应用程序的理想选择。该资产的创新工程与最高级别的材料相结合,在苛刻的条件下提供可靠的性能。采用真空密封焊接室、高纯度气体系统等先进部件，保证了卓越的重复性和长期稳定性。TEL SCCM-TE为研究和生产半导体应用提供了最高水平的性能和易用性。