二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9235809 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE是专为高精度、高通量晶圆製造需求而设计的先进蚀刻器/asher。该工具具有多种功能,可确保精确的处理过程-例如,其平衡机制可防止晶片在蚀刻室中移动、振动或以其他方式损坏。此外,机器的电源控制设备可保护晶片不会过度蚀刻。TEL SCCM TE配备了先进的气体输送和控制模块，能够进行多气体控制。蚀刻器通过控制供气量，在底物腔内保持独特的化学环境，从而能够精确进行蚀刻。而且，其快速作用、大功率的单晶片蚀刻源使蚀刻器能够在短时间内精确蚀刻结构。使用两步蚀刻可以最小化所需的加工时间。蚀刻器带有全自动加载臂，确保晶圆的准确稳定的加载/卸载。它还具有自动晶圆清洗系统、精确的温度控制单元、静态消除机等多种有效机制。安装了红外照相机以检测微妙的晶片和基板问题,确保晶片正确加载到设备上并正确执行蚀刻过程。TOKYO ELECTRON SCCM-TE还包括各种故障预防和保护机制。这些措施包括防雷工具、警报资产、多种安全设备和铂金编码器，可实现精确定位。它还具有能够检测、警报和控制火灾的防火模型。TEL/TOKYO ELECTRON SCCM-TE是一款创新的蚀刻器/asher，专为高容量、高精度晶圆加工而设计。其先进的技术确保了准确性、可重复性和安全高效的蚀刻工艺。它具有多项确保完美蚀刻环境的功能，如动力控制设备、先进的气体输送和控制模块、全自动装载臂以及各种故障预防和保护机制。