二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9398277 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE是一款功能齐全的蚀刻器（又称asher），专为满足半导体行业的严格标准而设计。作为TEL/TOKYO ELECTRON半导体工艺设备阵容的一部分，它是精密微芯片蚀刻的理想工具，提供操作灵活性、准确性和吞吐量。与其他TEL设备一样,它可以持续运行并提供一致的结果,而且维护最少。TEL SCCM TE具有多种高级功能。它配备了强大的885MHz（侧壁）射频发生器，可以提供从100 kHz到22GHz的广泛频率。为了实现精确蚀刻,该单元采用了可选的高性能、高精度负载匹配网络（LMN）,以实现与基板的精确阻抗匹配,从而获得最大的功率传递效率。LMN还允许宽范围的主动工作频率和源匹配，几乎没有失真。此外，TOKYO ELECTRON SCCM-TE拥有一个4通道的slidecabinet转盘，允许在管理多种底物的各种蚀刻配置时具有意想不到的多功能性。变速反应球电动机在加速或减速时提供平滑、低振动的标线旋转和精确的运动。该设备还具有符合人体工程学的设计，具有可调操作控制台、触摸屏界面和宽敞的分辨率表。SCCM TE还包括一个内置垂直传输系统（VTS），该系统消除了标线悬挂和堆迭，从而提高了生产率和吞吐量。VTS还允许基板上下、左右四向旋转。此外，该解决方桉还配备了一个可选的MEMS卡盘、线路加热器和OES（光学发射系统）传感器，用于精确感测蚀刻参数，如温度和基板轮廓。此外,TOKYO ELECTRON SCCM TE还配备了软件,通过预测蚀刻的终点、通过CCD传感器监控运动以及显示过程历史来加快蚀刻过程。它直观、用户友好的控制和操作灵活性提供了很大程度的生产定制。因此，它可以用来更有效、更准确地完成工作，提高整体生产力。TEL SCCM-TE在半导体行业中被高度评价，以可靠的结果、速度和准确性而闻名。因此，它是蚀刻细腻元件和半导体芯片的绝佳选择。其先进的特性和能力使其成为需要进行精确蚀刻或基材特定操作的公司的一大资产。