二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM #293776178 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON SCCM是一种蚀刻器/asher,用于从硅片生产集成电路。该设备是一种高度可靠和用户友好的工具,旨在以高精度和高精度在硅晶片上蚀刻或粉刷电路。设备由四个主要部件组成:主控制单元、加热设备、气体输送系统和光学单元。控制单元负责控制整个机器,包括电动机、阀门和传感器,用于协调蚀刻器/asher的其他组件。TEL SCCM的加热工具负责提供一个受控的温度环境,以便于在整个过程中均匀蚀刻。这是使用置于晶圆上方的红外灯或微波发射器完成的。热能释放出低而均匀的热量强度,创造出最佳的蚀刻环境。气体输送资产负责向蚀刻室供应必要的反应物。这包括O2、CF4和O3等气体。这些气体储存在储罐容器中,然后以恒定流量引入蚀刻室。TOKYO ELECTRON SCCM的光学模型负责观测蚀刻过程的进展和结果。它由光学显微镜、照相机和一系列光学传感器组成。此设备允许用户监视和调整蚀刻过程,以确保获得最佳效果。总体而言,SCCM是一款可靠、用户友好的蚀刻器/asher,能够生产高质量的集成电路,精度和精确度都很高。设备的各个部件无缝配合工作,提供受控的最佳蚀刻环境。有了这种设备,集成电路制造商就可以放心地生产出高质量的产品。
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