二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM #9192402 待售

ID: 9192402
晶圆大小: 12"
Chamber, 12" With turbo pump.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM是一种在半导体工业中使用的先进蚀刻/asher技术。TEL SCCM能够在高速低温的处理环境中进行高精度的蚀刻过程。这项技术被用于生产先进的电子器件和半导体芯片等半导体元件。TOKYO ELECTRON SCCM asher利用等离子体蚀刻工艺,以极高的精度创建电路。蚀刻是通过使用卤化镁气体产生电离等离子体来完成的。然后将电信号施加到要蚀刻的基板表面,等离子体会对该信号作出反应,有选择地分解基板中的材料并形成图样。这称为反应性离子蚀刻(RIE)。SCCM蚀刻器经过精心设计,可与各种基板兼容,使用户能够生产多代芯片。TEL/TOKYO ELECTRON SCCM蚀刻器提供极高的速度性能和较低的工艺温度,显着降低了生产时间和成本。这一过程减少了蚀刻时间,同时产生了紧密/光滑/详细的轮廓,对半导体材料的离子损伤最小。该工艺还有助于保持氧化物和钝化层。TEL SCCM蚀刻器还包含原位光谱端点检测系统等功能,实时监控蚀刻过程,检测半导体中蚀刻层的存在。该系统允许用户以极高的精度和信心准确确定精确的蚀刻点,使他们在设备制造中获得最大的产量。TOKYO ELECTRON SCCM还包含一个先进的高分辨率晶圆显微镜,用户可以查看蚀刻过程并确认蚀刻深度。总体而言,SCCM是一种功能强大且用途广泛的蚀刻/asher技术,专为快速、详细和精确的电路形成而设计。精确蚀刻到基板层的能力,加上其快速的蚀刻速度和较低的工艺温度,真正使TEL/TOKYO ELECTRON SCCM成为半导体行业的革命性工具。
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