二手 TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9038420 待售
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ID: 9038420
SCCM Shin etchers, 12"
(4) Load ports
Type of carrier: Foup 25 Wafers
Process: Oxide Etch
Wafer type: 300mm V notch.
Wafer mapping: Yes
FFU(ULPA Filter): >99.9999% 0.12um
Process kit: Shin Kit
Chuck: Ceramic ESC
Generator: Daihan MGA50E , AGA 50B2
Slow & Fast pumping: Yes
Gasline piping type: ARDC
MFC: Unit 8561
MFC Type: Anlog/Digital MFC
MFC control mode: Analog control
Chiller: FST HC308136
Power Line 1:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 140 A
Ampere rating of largest load: 120 A
Power Line 2:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 130 A
Ampere rating of largest load: 110 A
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS Etcher/Asher是一款高性能蚀刻/灰烬工艺工具,提供卓越的精确度和高级工艺能力。该设备用于生产半导体制造和OLED显示器等工艺中的薄膜和其他材料。TEL T-3055SS是一个全自动蚀刻/灰烬工艺平台,它提供出色的定制选项和对蚀刻/灰烬工艺的精确控制。根据材料和工艺参数,该机器可提供高达9秒的快速、高精度蚀刻/灰分循环时间。TOKYO ELECTRON T-3055SS配备了独特的蚀刻和灰化电极系统，确保了比传统蚀刻和灰化技术更高的准确率。电极与两个内部加热器和一个可调节的喷嘴单元协同工作，该单元能够在蚀刻和灰化过程中保持恒定温度。这样可以对薄膜和其他材料进行高效、精确的蚀刻/灰分工艺控制。该机还配备了可自动调整蚀刻/灰烬工艺参数的集成视觉机。T-3055SS的设计使其易于执行各种过程。直观的图形用户界面使用户能够快速设置、监控和控制蚀刻/灰烬过程,且费力极小。该机器还具有可选的负载锁定功能,可自动执行示例加载和卸载。这允许同时进行多个进程。TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS是用于大批量生产的可靠蚀刻/灰分工具。它具有广泛的流程和选项包,可以根据任何特定需求进行定制。集成的流程监控资产记录所有程序、流程和设备数据,为用户提供更长期的分析和流程优化。此外,TEL T-3055SS具有安全可靠的操作模型,可确保稳定的性能并提供高度的安全性和可靠性。总体而言，TOKYO ELECTRON T-3055SS对于希望最大限度地提高蚀刻/灰烬工艺精度和效率的公司来说是一个绝佳的选择。它提供出色的自动化和定制功能,同时还提供用户友好的界面和可靠的性能。
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