二手 TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9211146 待售

TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS是一种全自动蚀刻器和asher,能够处理中等复杂的过程。作为一种反应性离子蚀刻和灰化设备，TEL T-3055SS提供了一个完整的蚀刻和灰化溶液。除了蚀刻和灰化，该系统还可以作为薄膜工艺的沉积机。TOKYO ELECTRON T-3055SS专为需要精确和准确结果的生产和工艺应用而设计。它具有较高的吞吐量和较快的周期时间，每次运行最多可加载25个晶圆。该单元同时使用射频和直流溷合能源进行蚀刻，并使用高温退火阶段进行灰化。它还包括用于精确控制工艺参数的可变质量流激活机。利用先进的软件和硬件组件,T-3055SS为反应性离子蚀刻和灰化提供了可靠的操作.电脑控制的工具有一个用户友好的界面，配有图形显示快速进入和直接操作。它还提供了广泛的诊断工具,以帮助排除故障和微调流程。TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS利用一系列安全功能保护用户并防止设备损坏。它使用安全联锁来保护人员和设备，并且是为了满足最新关于射频和直流设备运行的规定的安全要求而设计的。该资产包括在线和离线现场诊断功能,以实现完整的流程控制。TEL T-3055SS提供了广泛的流程控制功能,允许用户控制不同设备类型的所有流程参数。它具有灵活的调度功能,因此用户可以轻松地为不同的蚀刻和ashing任务编程多个参数。它还包括一个自动晶圆传输模型，允许用户在没有任何额外设备的情况下将多个晶圆从一个腔室移动到另一个腔室。TOKYO ELECTRON T-3055SS是一种可靠、精密的蚀刻器和asher设备.其用户友好的界面和广泛的过程控制功能使其非常适合半导体行业的广泛应用。凭借其广泛的安全特性和广泛的诊断,T-3055SS提供了可靠和准确的结果。