二手 TEL / TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW #293587739 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW是由TEL Limited开发的半自动晶圆蚀刻器/asher。该设备的设计可实现高通量和可重复的蚀刻和灰化所有类型的电子元件在一次最多四个8英寸（200毫米）直径的晶片。该系统能够处理广泛的材料，如贵金属、硅、石英和其他高k电介质。TEL TAC-3WWZZWW的特点包括自动控制温度、低气体消耗率以及独特的光纤照明,确保整个腔室的蚀刻和灰烬过程均匀性。TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW的蚀刻器/asher腔室由不锈钢构成，呈圆柱形，无底层坩埚。它还具有质量流控制器和热电偶，用于控制室内温度。此外，它还配备了两个自动阀门，一个用于装卸晶片，一个用于气体引入。腔室还具有压力控制功能，使操作员能够精确调整过程压力。此外，该单元设计为能够在任何方向工作，允许精确的蚀刻和灰烬过程以最小的工艺变化进行。TAC-3WWZZWW还包括防止意外气体泄漏的安全联锁装置。该工具由金属盒、压力开关和泄漏检测器组成。它旨在在压力下降时立即关闭资产。它还包括一个内置的排气模型，在泄漏的情况下过滤掉任何危险气体。TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW拥有多项先进技术，可实现高效和可重复的晶圆蚀刻和灰化工艺。它包括数字微控制器接口（DMIF），一种先进的传感器技术，使操作员能够准确监测腔内的温度和工艺条件。该设备还具有一套强大的功能，如自动密封晶片支架、实时腔室温度监测、基于配方的编程，以及高达四个可编程预热温度。TEL TAC-3WWZZWW是对各种电子元件进行蚀刻和灰化的理想工具。它旨在提供易于使用的可重复和可靠的过程。它的自动控制功能使操作员能够快速准确地进行制造过程，而无需大量的手动输入。该系统也非常适合半导体加工实验室，这些实验室需要高通量和最高精度的蚀刻和灰化过程。