二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras BX JIN #293773387 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras BX JIN是一种高性能、紧凑的蚀刻（或ashing）设备，使半导体器件制造中使用的蚀刻和灰化工艺成为可能。它旨在提供可靠的工艺一致性和可重复性，同时增强安全性和利用蚀刻和灰化技术的最新进展。BX JIN 蚀刻器/Asher利用先进的蚀刻室设计,提高了工艺的均匀性和可重复性,减少了尺寸,改进了窄蚀刻结构。该系统还在射频蚀刻发动机中采用高速扫描和高温偏置，以提高FEOL操作的通过率。TEL Tactras BX JIN还配备了精密的过程控制技术和各种过程控制系统，包括离子辅助过程控制（IPC）、基于FEOL的过程控制单元（FPCS）和特定于过程的微调系统，使用户能够准确、精确地控制蚀刻/ashing过程。它还具有自动化的工艺匹配系统，以提高准确性和可重复性，以及水基冷却机以更快、更安全的方式进行蚀刻。此外，TOKYO ELECTRON Tactras BX JIN提供了极大的灵活性，每种应用都可以存储一系列的工艺配方，并且可以对蚀刻/ashing配方进行微调，以满足特定的要求。最后,此工具提供远程连接,使用户能够监控和调整蚀刻/灰化参数,从而以最小的交互作用提高流程准确性。这些功能相结合,使Tactras BX JIN成为当今最强大、最可靠的蚀刻器/asher系统之一。它是半导体行业蚀刻/灰分操作的理想选择，提供可靠、可重复和均匀的工艺结果，具有最高的安全性和效率。