二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras RLSA Poly #293813001 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras RLSA Poly是一款高度先进的蚀刻器，设计用于从GaAs底物中蚀刻多晶硅、聚SiGe和SiGe层。这种八生物，自对齐的蚀刻器由TEL开发。TEL Tactras RLSA Poly在蚀刻方面提供高精度和精确度，使其成为半导体工艺研发中广受追捧的蚀刻器。TOKYO ELECTRON Tactras RLSA Poly独特的架构允许以无与伦比的精度和均匀性蚀刻复杂基板。这种蚀刻器基于反应性离子蚀刻（RIE）工艺，利用各种气体的组合，如氧气、自由基和氟化合物来产生蚀刻效果。然而，RLSA Poly已经开发出来，能够在提高均匀性和选择性、低表面排泄率的情况下实现优化的蚀刻结果。Tactras RLSA Poly具有多生物布局,在蚀刻设计方面具有灵活性。最多可以将八种不同的生物纳入蚀刻过程。多生物布局允许组合各种蚀刻过程，允许同时合并减法和加法蚀刻过程。这在复杂形状需要蚀刻到基材上时特别有用。RLSA Poly还具有对电池温度、压力水平和气流等参数的精确监控功能,有助于提高其准确性和可重复性。蚀刻器还配备了实时监测系统，能够监测移动样本数据，如电位和距离，这有助于控制蚀刻均匀性。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras RLSA Poly是一款用途极为广泛的蚀刻器，使其适合广泛的应用。它适合SiO2、SiN、Si3N4、光致抗蚀剂以及来自GaAs基板的多晶硅、poly-SiGe、SiGe层等材料，用于半导体工艺。RLSA Poly提供的高精度、均匀性和多功能性相结合,使其成为当今市场上最好的蚀刻机之一。