二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras SCCM #9290523 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM（超级化学控制机）是一种蚀刻器/asher，用于为各种金属化应用提供深度蚀刻、精细图桉和轮廓控制。它是一种半导体工艺工具，旨在提供卓越的基板水平平面化，对基板的损害最小。TEL Tactras SCCM的设计紧凑,可提供最大的流程能力和改进的控制管理能力。它具有直观的用户界面,易于操作,可通过自动处理和监控提高吞吐量。蚀刻器/asher有三个自动平面化阶段，包括湿蚀刻阶段、抛光阶段和基板平面化阶段。TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM还提供了一个"双蚀刻"功能，以控制蚀刻深度，以及轮廓类型，其先进的油层。Tactras SCCM配备了先进的控制系统，该系统融合了来自单个控制模块的自动蚀刻、耗尽和溅射等功能。该控制模块确保了蚀刻器/灰化器的同步操作，可用于提高蚀刻过程的准确性和一致性。TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM还配备了触摸屏控制单元，以实现更大的易用性，并且可以连接到一系列系统进行监控。它还提供远程监视功能,允许从远程位置监视和控制设备。TEL Tactras SCCM 蚀刻器/asher还具有各种溅射能力，包括薄膜、化学型溅射、氧化型溅射和反向离子萃取。内置电子束蒸发器允许快速、高效、均匀的薄膜沉积。此外，触觉感应器和操纵器可以精确控制底物的位置和速度。TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM是一款多合一蚀刻器/asher，非常适合高容量生产和工艺优化。它提供精密蚀刻/溅射/耗尽操作,以及全方位的自动化功能。高效、用户友好的设计可确保以优异的效果提高生产效率。