二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3 #293603576 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3是一种可靠、高效、精确的等离子体蚀刻器/asher，用于广泛的应用。TEL Tactras Vesta NV3采用"等离子体增强蚀刻"技术运作，该技术使用高温、高电场和高能离子。这种蚀刻方法可以在精确的图样上进行精确蚀刻,以及广泛的深度蚀刻/灰化。TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3的界面是人性化的，允许精确和容易控制蚀刻参数。它还包括一个直观的图形用户界面,它减少了生产周期时间并提高了生产率。蚀刻器/asher支持多种基材尺寸,从200 mm到300 mm不等,使其用途广泛,非常适合各种半导体生产工艺。该NV3还设有一个先进的熔炉模块，有助于减少不均匀的加热和帮助均匀蚀刻。此外，它还具有一个泵系统，该系统减少了气体消耗，降低了与蚀刻工艺相关的成本。该NV3配备了SEGARD（超级蚀刻气体分析数据记录），可以准确记录蚀刻表面上的气体分布。这有助于提高蚀刻图样的准确性，并确保蚀刻过程的均匀性。NV3提供的一些功能包括自动基板温度控制、自动出口温度控制和自动沟槽形成。这些特性很重要，因为它们有助于保持基板温度恒定，并有助于提高工艺的均匀性。该NV3还能够同时蚀刻多达10个晶圆，大大提高生产率和吞吐量。总之，TactrasVesta NV3等离子体蚀刻器/asher是一种高精度、可靠的蚀刻器/asher，用于各种生产工艺。这样的特性可以在各种基材尺寸上实现均匀的蚀刻、更快的吞吐量和出色的均匀性。