二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3 #293634269 待售
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ID: 293634269
晶圆大小: 12"
Polysilicon etcher, 12"
(2) AC Distribution boxes
Loader module
(3) Load ports
Vaccum transfer module:
Transfer module
(2) Loadlock modules
(4) Process modules:
(3) HF RF Power supplies
(4) Gas boxes
(3) RF Generators
(3) TMP Controllers.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3是一种最先进的蚀刻器/asher,设计用于各种微结构中的图样转移和材料去除。是先进半导体加工和集成电路生产的高效工具。它有一个大的加工室,工作面积约为300毫米,能够在整个加工区域提供高的蚀刻选择性和极好的均匀性,而不会在制造质量上有任何明显的下降。TEL Tactras Vesta NV3凭借其高性能的等离子体源和气体输送系统,为精密蚀刻和灰化设定了业界领先的标准。通过控制反应性气体的组成和电离以实现最佳蚀刻速率并保持粒子悬浮的静电约束系统,提高了其性能。它还具有独特的源代码设计,具有一系列用于增加电离功率和提高蚀刻选择性的转弯。除了性能外,TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3凭借创新的人性化功能,在竞争中脱颖而出。其人体工程学控制面板提供了简单、直观的蚀刻和灰化工艺参数编程。它具有直观的图形用户界面,允许用户直接可视化流程状态,从而使流程优化更加容易。此外,它的数字控制器提供更精确的控制和更可靠的过程操作。在成本效益方面,Tactras Vesta NV3是一个非常实惠的蚀刻师/asher。由于其高可靠性和快速维护,它的拥有成本也很低。这进一步得益于其在运行过程中的低功耗以及与其他系统的高效通信链接,从而使用户能够快速检索有关流程的最新信息。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3是先进半导体加工和集成电路生产的绝佳选择,因为它结合了性能、用户友好性和低成本。凭借其在整个工作区域内出色的蚀刻、灰度和均匀性,它一定能满足业界最苛刻的需求。
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