二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta #9221865 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta是一款为半导体器件制造而设计的蚀刻/asher设备。该系统由工艺室、真空室和控制器单元组成。该工艺室包含多层生产容器，其中反应性气体被冷却和循环。然后通过向基板上供应气体来实现蚀刻/灰化过程。蚀刻/灰化的过程是使用高频等离子体完成的，由几个射频发生器产生，并从所有四个侧面应用于基板。该单元被设计成一个单晶片反应性离子蚀刻器（RIE），这使得它成为一个适合精密蚀刻过程的工具，亚微米精度。它也是一种基于真空的机器，允许用户在预处理条件下实现适度数量的加工步骤，同时保持基板的质量。与工艺室相连的真空室致力于减少工艺配方之间因环境气体污染而产生的蚀刻速率波动。此外，该工具还附带了TEL Tactras Vesta控制器单元，它提供了一个用户友好的界面，允许用户轻松配置和存储不同的蚀刻和灰分配方。用户可以根据自己的特定需求调整和存储最多三个蚀刻食谱和最多三个灰度食谱。该资产还提供了增强的工艺稳定性，因为它利用了一种特殊的冷却装置，有助于保持真空室内的温度，以及低压喷射器。所有这些特性使得TOKYO ELECTRON Tactras Vesta成为了半导体制造工艺的绝佳蚀刻/asher工具。它是一个用户友好的模型，具有许多功能，使其成为微观制造过程的理想选择。设备提供了更好的基板吞吐量和更好的蚀刻均匀性，有助于最大限度地提高产量，降低成本，提高集成电路的质量。