二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta #9225714 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta是一款高级蚀刻/灰化设备，设计用于各种高级工艺。其超精细干蚀刻功能可提供最高分辨率的图样和最小尺寸到10nm的特征,而灰化功能可提供卓越的蚀刻性能和最小的浆料消耗。TEL Tactras Vesta可以实现处理广泛的材料，包括标准Si、SiN、SiO2和SiON薄膜，以及高k电介质和高级材料合成。该系统具有双气体入口控制，可精确控制剂量和过程均匀性。它还包括一个先进的传感器单元，用于精确的实时蚀刻深度控制，以确保精确的结果。TOKYO ELECTRON Tactras Vesta蚀刻单元利用电子回旋共振（ECR）和侧向RF（LRF）等离子体的组合。ECR等离子体用于深度蚀刻，而LRF等离子体用于进行批量蚀刻。Tactras Vesta设有可编程腔壁，以优化蚀刻工艺。腔壁可以配置为为机器内加工的每种材料提供最佳反应环境。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta还具有氢气、氯气和溅射气体，使其能够处理各种各样的表面和过程。此外,刀具的静止500瓦射频发生器用于在较高的工艺温度下进行干蚀刻。这也使得TEL Tactras Vesta消除了湿蚀刻工艺的需要。TOKYO ELECTRON Tactras Vesta是一款高度集成的资产,提供先进的工艺控制、高分辨率和优良的特性模式,以及卓越的工艺一致性。此外，它的可编程腔壁允许全过程控制和精度。这使得Tactras Vesta成为快速原型化高级结构和设备的理想解决方桉。