二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0 #9284628 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0是一种先进的蚀刻机，设计用于在半导体基板上蚀刻图样。该蚀刻器适用于广泛的应用，包括用于Airwrap™空气稀释过程的高精度电路，这是一种有助于提高蚀刻质量和产量的创新技术。TEL Tactras Vigus-0是一款具有9格设计的高端蚀刻器，允许同时执行多个蚀刻过程。该机配备了先进的硬件，涉及使用高纯度CoF2蚀刻气体。它有一个负载锁室、一个晶圆膨胀室和一个化学气相沉积源。蚀刻室一次最多可容纳30个晶片。该蚀刻器还具有两个等离子体源和三个晶圆加热级，能够支持各种蚀刻技术。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0配备了高精度级控制和高速加工能力，可以提高蚀刻循环时间。它还配备了实时监控设备，用于检测蚀刻变异的早期迹象。该系统允许在蚀刻过程中进行精确调整，有助于减少蚀刻时间，提高整体蚀刻精度。该蚀刻器具有先进的气体控制单元，有助于确保稳定的蚀刻气体流动，同时将杂质进入过程的风险降至最低。它还配备了多种等离子体源和蚀刻气体，可以优化蚀刻轮廓、可重复性和选择性。此外，该机还融合了多项安全维护功能，包括高精度泄漏检测、安全互锁、动力监测机等，保护蚀刻器及其用户。Tactras Vigus-0是一种先进的蚀刻器，适用于半导体工业中各种复杂的蚀刻工艺。该蚀刻器旨在提供卓越的蚀刻质量、精度和可重复性，同时遵守严格的安全和可靠性标准。该蚀刻器具有高度的可配置性和可扩展性,可容纳各种蚀刻技术,成功率很高。