二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+ #293649539 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+是为广泛的半导体晶圆处理应用而设计的高级蚀刻器/asher。这种精密的蚀刻器具有多向循环加热加热室，允许多个晶片在一个过程步骤中进行处理。与竞争蚀刻系统相比,Tactras Vigus LK3+提供了高达30%的改进蚀刻速率和尺寸控制。TEL Tactras Vigus LK3+采用高端自动化设备构建,可提高处理时间的准确性和可重复性。该工具还具有强大的自动清洗系统，使操作员能够减少手动清洗的总量并提高设备可靠性。这台机器能够进行自动传感器校准和一系列的过程监控，为用户提供更大的过程控制。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+的人性化图形用户界面（GUI）通过提供易于理解的图形显示和过程参数，简化了蚀刻过程。此GUI允许用户轻松设置过程条件、蚀刻配方和实时故障排除。此外，利用其数据收集模式，用户能够访问和存储相关数据，从而实现更好的流程管理。Tactras Vigus LK3+提供频谱灵活性，允许用户定制不同基材的蚀刻速率和工艺参数。由于多向循环加热的加工室，晶圆在整个蚀刻过程中都暴露在相等的压力和温度下。这样可以改善边缘均匀性，降低应力水平，特别是在低k基板的蚀刻过程中。此外，低颗粒产生的工具确保了卓越的晶圆质量。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+是寻找可靠一致蚀刻资产者的理想选择。这台健壮的机器包括一系列创新功能,包括改进的蚀刻速率和尺寸控制、复杂的自动化、过程监控功能、频谱灵活性和低粒子生成。无论您是小型IC设计公司还是大型制造商，TEL Tactras Vigus LK3+都是满足您半导体晶圆加工需求的完美解决方桉。