二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+ #293649540 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+是一款最先进的蚀刻器/asher，旨在为各种工艺提供先进的精度和质量。这种蚀刻器/粉碎器的特点是存在碰撞下金属化（Uber Bump Metallization, UBM）工艺,它显着降低了由阵列错误或其他问题引起的不准确形成颠簸的风险。该工艺采用PECVD工艺，将UBM膜沉积在金属凸起上，从而使凸起的位置准确而均匀。TEL Tactras Vigus LK3+还提供了先进的大气压等离子体处理设备，允许高效的表面活化。这一工艺改善了基板的润湿性，改善了金属薄膜与晶圆基板的附着力。该系统还提供了精确的沉积速率，金属精度为+/-0.1nm，螺距控制为30nm，确保了精确的金属沉积。TOKYO ELECTRON TACTRAS Vigus LK3+具有环保的设计，具有微粒的低排放和低压蚀刻装置，产生的危险较小的废气。这台机器还装有自动多参数记录器，用户可以在蚀刻或灰化过程中记录各种信号和参数。Tactras Vigus LK3+配备了各种先进的安全管理系统，包括安全快门、气量监视器、地面故障中断器、真空断路器。该工具可提供可靠的保护,防止发生事故和机器故障。该机还包括基于触摸面板的控制资产和激光抗蚀性边缘剖面模型，有助于精确地控制蚀刻过程。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+是一款非常先进和可靠的蚀刻器/asher，在不牺牲安全性的前提下提供卓越的精度和质量。其先进的UBM工艺和精确的沉积速率使得金属颠簸能够精确形成，而其全面的安全管理系统则确保了对事故和机器故障的可靠保护。