二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 #9284611 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3是为各种材料的精密蚀刻和灰化而设计的下一代蚀刻和灰化设备。该系统非常适合生产微电子、生物医学、半导体和纳米技术等领域的高质量设备。Vigus采用了高水平的激光隔离技术，提供了最高质量的蚀刻和灰化，意味着即使是最精确的切割，也可以以更高的速度和精度进行。该单元具有TEL专有TCS（技术控制单元），它提供了更高的蚀刻和灰化率、改进的过程控制以及更大的过程可预测性。这样可以确保每个应用程序都能获得最佳的蚀刻和灰化率。GUI还提供各种视觉设置以及对蚀刻和灰化模式的用户友好控制。Vigus能够产生单层和多层蚀刻和灰化图桉。该单元可以处理多种材料，如金属、非金属、聚合物，甚至石英。再者，该单元还可以加工有机和无机材料，如石墨和半导体基板。此外,Vigus还提供各种蚀刻和灰化选项,例如清洁、蚀刻和灰化,使用户可以根据手头的应用定制方法。Vigus提供了其他机器无法比拟的卓越精度。它能够将材料蚀刻和灰化至高达25nm的分辨率。由于该单元提供的精度，芯片制造和其他微电子应用的可能性几乎是无限的。与前代产品相比,Vigus还提供更高的吞吐量和更低的拥有成本。该装置的能效等级比其他许多蚀刻和灰化系统都要高。这使得它非常适合大量生产各种设备。此外，Vigus提供了一个广泛的食谱库，允许用户尝试不同的蚀刻和灰化技术-快速和容易。TEL Tactras Vigus LK3是一款功能强大、精密的蚀刻和asher工具,可为用户提供最高级别的控制和准确性,帮助他们在多种材料中创建高质量的设备。Vigus凭借其先进的技术、丰富的食谱库、低的拥有成本，是大型生产的理想蚀刻和asher资产。