二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 #293649549 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3是一种蚀刻器/asher,设计用于在一系列基板上创建3D模板,如硅片、陶瓷和玻璃。这种先进的蚀刻器/asher具有精确的阵列设备，利用电动级和高精度激光光学器件提供一贯的高精度图桉。使用光学、激光和运动控制系统的独特组合,TEL Tactras Vigus RK3能够以最高的精度和可重复性创建复杂的3 D模板。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3配备了健壮的8轴运动控制单元，使复杂的微结构具有高度的可靠性。此外,这台机器还提供了一个闭环通信接口,用于与外部设备（如计算机辅助设计（CAD）程序）接口。此外,此工具还提供了一个全面的用户友好操作模式,允许轻松更改参数和快速设置。Tactras Vigus RK3利用先进的3D可编程激光器，具有高重复率和脉冲宽度，能够实现亚微米精度。这种激光器由检流计镜子供电，该镜子将光引导到基板上进行精密蚀刻。此外,蚀刻器/asher还配备了自动扫描控制资产,可精确定位激光以实现高精度阵列。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3还具有内置的等离子体生成模型，该模型旨在提供低温等离子体环境，以便在蚀刻时降低底物的温度。这种产生等离子体的设备能够达到500°C以下的等离子体温度，并提供更均匀的模式过程。最后，TEL Tactras Vigus RK3设计了一个全闭环控制系统，可以连续监控每个单元的参数，如电流、温度、气压和激光功率。这台控制机器提供了对蚀刻过程状态的即时反馈，使调整能够快速准确地进行。因此,此工具保证了适用于各种应用程序的一贯高精度蚀刻过程。