二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 #293649553 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3是一种蚀刻器/asher,设计用于处理115nm （0.1 μ m）级的高级材料。它的无化学、等离子体蚀刻技术允许在超细材料中制造各种结构，包括沟槽、接触孔或通过孔。这种先进的蚀刻技术提高了半导体行业蚀刻工艺的性能。TEL Tactras Vigus RK3 蚀刻器/asher具有用于过程控制的高精度、高分辨率主动过程补偿（APC）系统。此功能允许稳定、高度可重复的蚀刻过程。此外，由于内置主动冷却系统，处理速度非常高效。该工艺室设计有等离子体加工和材料加载的独立区域，能够进行各种蚀刻过程。此外，TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3还附有扩展配方数据库和功能集。此蚀刻器/蚀刻器允许选择最佳蚀刻参数,并可选择创建自定义的蚀刻配方。此外,流程条件数据库允许保存、分析和显示实时流程结果,从而为工程师提供了优化和控制流程的强大工具。Tactras Vigus RK3 蚀刻器/asher是纳米级高分辨率材料蚀刻的理想解决方桉,具有显着的成本效益和性能优势。即使在要求最苛刻的蚀刻应用中,它也能够提供卓越的质量,确保半导体器件制造商获得高产、无缺陷的产品。