二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649557 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4是市场上广泛使用的蚀刻器/asher,旨在提供具有高级功能的最高精度。此设备具有一整套功能,使其成为蚀刻和灰化过程的理想选择。TEL Tactras Vigus RK4的第一个独特特点是气体输送系统，它能够同时提供载气和最多两种气体溷合物，允许广泛的过程。气体输送装置还提供定时开口，使用户可以轻松准确地控制腔内的氙气流动和反应持续时间。此外，该RK4能够自动控制温度循环，从而能够精确管理工艺温度。TOKYO ELECTRON TACTRAS Vigus RK4还配备了一个真空室，该真空室包含两个旋转板组件，用于拆卸和携带产品进行蚀刻和加工。这些组件设计用于接受直径不超过4英寸的产品,并便于产品在加工室中快速装卸。Tactras Vigus RK4上的自动压力控制机也是一个令人印象深刻的特点，允许在蚀刻或灰化过程中进行瞬间压力管理和控制。这种控制工具允许用户实时调整和校准腔室压力，确保最准确和一致的结果可能。为了最有效地利用其压力控制资产，TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4配备了五点压力测量模型。TEL Tactras Vigus RK4是为最大精度和准确性而设计的,目的是在蚀刻或灰化过程中最大程度地降低材料损坏或不饱和的风险。该设备提供定期加热/冷却系统，能够准确监测温度和环境条件，以提高工艺稳定性。此外，TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4还配备了自动稳定装置，有助于减少工艺波动，以获得最佳效果。综上所述，Tactras Vigus RK4旨在提供蚀刻和灰化过程中的最高精度。它的一套功能,如气体输送机、自动稳定工具和五点压力测量资产,使RK4成为希望在其蚀刻和灰化过程中产生极其准确和一致结果的实验室的理想选择。