二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649558 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4是一款Etcher/Asher，设计用于处理液体和真空蚀刻和灰化应用。它是一种高性能的蚀刻和灰化设备,旨在提供过程重复性、出色的成像性能和高通量。适用于广泛的应用，包括多层半导体加工。TEL Tactras Vigus RK4采用三室设计，能够同时进行多次蚀刻/灰烬操作。主蚀刻/灰室是一个大而孤立的封闭环境，污染最小。腔室容量最大为1080升，压力范围在75至150托。还包括一个独立的干法室，用于无水蚀刻工艺，如CF4蚀刻和SFE蚀刻。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4包含多种工艺气体来源，包括氟化氢（HF）、三氟化氯（CF4）和SF6，以实现高蚀刻选择性率和较低残留物。包括冷壁式静电卡盘（ESC）,以确保与高级设备的兼容性。电力系统独立，0.05kW 50kW的功率范围很广。它还具有很高的可靠性，配有射频天线电源链条单元和嵌入式过程监测机。Tactras Vigus RK4有几种不同的工艺可以选择，包括蚀刻深反应性蚀刻（DRIE）、各向同性蚀刻、各向异性蚀刻、灰化等。Etcher/Asher还具有通用的温度控制,最高温度范围为500 °C,使操作员能够定制每个特定的工艺。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4支持多种装卸交换机制，如穿梭机器人或卡带到卡带工具。还配备了湿式清洁资产，表面光滑，IPPC防护等级为5级。整个型号采用快速操作制作，允许出色的化学机械抛光工艺和各种蚀刻/灰分配方的快速循环时间。