二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK5 #293802322 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK5是为生产微芯片和集成电路板而设计的先进蚀刻设备。它是一个由多个组件组成的系统，可协同工作以提供高精度蚀刻。该单元的两个主要部件是包含蚀刻介质的蚀刻室和将蚀刻材料施加到基板上的抵抗相机。这些组件通过特殊的真空机连接，以确保安全和安全的蚀刻过程。蚀刻室是该工具的主要部件，其中包含化学气相沉积（CVD）和干蚀刻气体。该组件能够控制腔室的压力和温度以及蚀刻所需的时间。CVD工艺在蚀刻室进行，在该室中，基板暴露于与基板材料反应以蚀刻所需特征的反应气体的组合中。干蚀刻工艺也发生在蚀刻室，但需要不同类型的反应性气体和基板组合。Resist Camera是资产的第二个主要组件,其中Resist材料应用于基板。这是在蚀刻过程之前完成的,以便以受控的方式进行蚀刻。抵抗相机还能够控制蚀刻的速度，以及材料的厚度。这确保了精密蚀刻生产的小和复杂的特征。真空模型是设备的最后一个部件，负责疏散蚀刻室和抵抗相机，创造适合蚀刻过程的环境。该系统还有助于控制蚀刻过程中使用的反应性气体的数量。TEL Tactras Vigus RK5是一个先进的蚀刻单元，结合了必要的组件和技术，提供精确可靠的蚀刻结果。该机采用了先进的CVD和干蚀刻技术，以及抵抗相机，以确保复杂和微小的特征可以产生一致的精度。该工具还设计有真空资产，以确保创造和维护理想的蚀刻条件。这些组件的组合确保了高产和优质零件的生产。